一种晶圆盒清洗提示系统以及方法

摘要

本发明提供了一种晶圆盒清洗提示系统以及方法，搭载在生产制造软件中，用于提示操作者清洗进入清洗提示时间范围且具有识别模块的晶圆盒，该识别模块通过信息读写装置写入对应的批编号和需清洗时间，该生产制造软件将晶圆盒的批编号和需清洗时间以及其在生产线上的位置信息及对应的批编号分别予以存储。现有技术中人工管控晶圆盒的清洗存在着工作量大、效率低和易使晶圆盒超期使用等问题。本发明先存储清洗提示时间范围对应的清洗提示启动值；再依据当前时间、清洗提示启动值和需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；接着撷取所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息并予以输出。本发明可大大节约人力并避免晶圆盒超期使用。

主权项

1、一种晶圆盒清洗提示系统，搭载在一生产制造软件中，用于提示操作者对生产线上进入清洗提示时间范围的晶圆盒进行清洗，该晶圆盒具有一识别模块，该识别模块在晶圆盒进入生产线时通过一信息读写装置写入对应的批编号和需清洗时间，该生产制造软件将信息读写装置写入识别模块的批编号和需清洗时间存储至一识别信息数据库，并将晶圆盒在生产线上的位置信息及其对应的批编号实时更新存储至一位置数据库，其特征在于，该提示系统包括：一提示启动值存储模块，用于存储该清洗提示时间范围所对应的清洗提示启动值；一统计模块，用于依据当前时间、提示启动值存储模块中所存储的清洗提示启动值和识别信息数据库中所存储的需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；一撷取模块，用于从识别信息数据库和位置数据库中撷取统计模块所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息；以及一输出模块，用于输出撷取模块所撷取的数据以提示操作者据此进行清洗。