纵式基板运送装置及成膜装置

摘要

本发明提供与基板的运送姿势无关、在任意面上都能成膜、且可与非成膜面不干涉地支承并运送基板的纵式基板运送装置和成膜装置。本发明的成膜装置(1)，备有可处理基板(W)的任意面地支承着上述基板的托架(15)、变换托架(15)的运送姿势的第1姿势变换部(3)、收容已变换了姿势的托架并将该托架运送到成膜室(10)的运送室(9)。采用上述构造，可以与基板(W)的运送姿势无关地、对任意面实施成膜处理。另外，在基板(W)的运送途中，可以变更成膜面(Wa)。另外，可以使托架(15)不与基板(W)的非成膜面干涉地支承着基板(W)。

主权项

1. 一种纵式基板运送装置，将基板以大致直立的姿势运送到处理室，其特征在于，备有：可处理上述基板的任意面地支承着上述基板的托架；变换上述托架的运送姿势的姿势变换机构；收容上述已变换了姿势的托架并将该托架运送到上述处理室的运送室。