| 发明名称 | 用于确定基片表面质量的方法和用于加工基片的相关机器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于确定在加工过程中从初始基片(2)转变到已加工基片(12)的基片的表面质量的方法，该方法包括以下步骤：获取与在初始基片(2)上检测到的表面缺陷(27，29)相关的第一信息；获取与在已加工基片(12)上检测到的表面缺陷(28，29)相关的第二信息；处理第一信息和第二信息；以及根据与在初始基片(2)上检测到的表面缺陷(27，29)相关的第一获取信息并根据与在已加工基片(12)上检测到的表面缺陷(28，29)相关的第二获取信息，来对已加工基片(12)进行分类。 | ||
| 申请公布号 | CN101393141A | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200810149279.4 | 申请日期 | 2008.09.19 |
| 申请人 | 鲍勃斯脱股份有限公司 | 发明人 | C·托马;J·埃罗恩索 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I;B31B1/74(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 朱立鸣 |
| 主权项 | 1. 一种用于确定在加工过程中从初始基片(2)的初始状态转变到已加工基片(12)的已加工状态的基片的表面质量的方法，所述方法包括以下步骤：- 在所述加工过程之前，获取与在所述初始基片(2)上检测到的表面缺陷(27，29)相关的第一信息，- 在所述加工过程之后，获取与在所述已加工基片(12)上检测到的表面缺陷(28，29)相关的第二信息，- 处理所述第一信息和所述第二信息，以及- 根据与在所述初始基片(2)上检测到的所述表面缺陷(27，29)相关的所述第一获取信息并根据与在所述已加工基片(12)上检测到的所述表面缺陷(28，29)相关的所述第二获取信息，来对所述已加工基片(12)进行分类。 | ||
| 地址 | 瑞士洛桑 | ||