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发明名称 TUNABLE SELECTIVITY SLURRIES IN CMP APPLICATIONS
摘要
申请公布号 EP2038361(A1) 申请公布日期 2009.03.25
申请号 EP20070796076 申请日期 2007.06.13
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 CHEN, ZHAN;VACASSY, ROBERT;BAYER, BENJAMIN;KHANNA, DINESH
分类号 H01L21/321;C09G1/02;H01L21/3105 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
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