感光性化合物、感光性组成物、抗蚀图案形成方法及装置制造方法

摘要

本发明揭示于分子内含有二或多个下式（1）所示之结构单元之感光性化合物：#P 097104645P01.bmp其中R#sB!1#eB!至R#sB!10#eB!系选自氢原子、卤原子、烷基、烷氧基、苯基或基，且烷基中部分或全部氢原子系经氟原子取代；且，X系经取代或未经取代之苯撑基或经取代或未经取代之撑基。