| 摘要 |
本发明之成膜装置，具备：电浆枪(1)，包含具有电浆流出口(91)之容器(25)及阴极(15)；成膜室(3)；用以进行电浆流出口(91)之关闭或开放之挡门装置(30)；配设在成膜室(3)内部的阳极(74)；直流电源(27)；与控制装置(102)；控制装置(102)，系控制成挡门装置(30)将电浆流出口(91)关闭，变更直流电源(27)施加于阴极(15)的电压以在阴极(15)产生辉光放电，挡门装置(30)将电浆流出口(91)开放，变更直流电源(27)施加于阴极(15)的电压以在阴极(15)产生电弧放电而生成电浆。 |
