发明名称 Verfahren zum Herstellen einkristalliner UEberzuege aus dotierten Halbleitergrundstoffen durch Aufdampfen im Vakuum
摘要
申请公布号 DE1098316(B) 申请公布日期 1961.01.26
申请号 DE1957E014329 申请日期 1957.06.26
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 GILLES JEAN-MARIE FERDINAND;CAKENBERGHE JEAN LEON VAN
分类号 C30B1/02;C30B23/00;H01L21/00 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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