一种显微观察移动台

摘要

本发明涉及一种显微观察移动台，它包括机架和光学平台，光学平台上设置下层粗精度导轨组和上层高精度导轨组，粗精度导轨组包括平行滑设在第一、第二导向装置上的第一、第二滑块，连接在第一、第二滑块上且与第一、第二导向装置水平垂直的第三导向装置，第三导向装置上滑设第三滑块，第三滑块上垂向穿设一定位柱，一压杆与第三导向装置平行穿过第三滑块和定位柱，压杆两端的顶部分别设置一压紧部件；高精度导轨组包括设置在定位柱顶部的第四滑块，第四滑块顶部设置一运动方向与其垂直的第五滑块，第五滑块顶部连接载物台。本发明在粗精度导轨组作用下实现载物台快速粗定位，在高精度滑轨组作用下实现载物台精确定位，定位准确，节省成本。

主权项

1、一种显微观察移动台，其特征在于：它包括一机架和连接在所述机架上的光学平台，在所述光学平台上设置有粗精度导轨组，所述粗精度导轨组顶部设置有高精度导轨组和由高精度导轨组带动的载物台；所述粗精度导轨组包括平行滑设在第一、第二导向装置上的第一、第二滑块，一连接在所述第一、第二滑块上且与所述第一、第二导向装置水平垂直的第三导向装置，所述第三导向装置上滑设一第三滑块，在所述机架上设置有驱动所述第一、第二滑块的第一驱动组，在所述第一、第二滑块上设置有驱动所述第三滑块的第二驱动组；所述第三滑块上垂向穿设一定位柱，与所述第三导向装置平行设置一穿过所述第三滑块和定位柱的压杆，所述压杆两端的顶部分别设置一连接在所述第一、第二滑块上的压紧所述压杆用的压紧部件；所述高精度导轨组包括设置在具有支撑导向作用的所述定位柱顶部的第四滑块，所述第四滑块由设置在所述定位柱上的第三驱动组驱动，与所述第四滑块的运动方向呈水平垂直，在具有支撑导向作用的所述第四滑块的顶部设置一第五滑块，所述第五滑块由设置在所述第四滑块上的第四驱动组驱动，所述第五滑块顶部连接所述载物台。