发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFERRING METHOD
摘要
申请公布号 KR100888107(B1) 申请公布日期 2009.03.11
申请号 KR20070028081 申请日期 2007.03.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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