产生碳奈米管之方法及装置

摘要

一种产生碳奈米管之装置与方法。加热制程室至目标温度，且供应触媒粉至加热之制程室中。触媒粉系沿着第一方向于制程室中移动。来源气体系沿着与第一方向相对之第二方向而被供应至制程室中。藉此，来源气体延迟触媒粉于第一方向上之移动，使得来源气体与触媒粉于制程室中反应藉以于制程室中产生碳奈米管。与触媒粉之流动抵触之来源气体之气流降低了触媒粉之掉落速度，使得来源气体与触媒粉于充足之时间内彼此反应。