PROCEDIMIENTO DE REGULACION DE UN HAZ DE IONES.

摘要

Procedimiento de regulación de un haz de iones que es emitido por un dispositivo de generación de haz de iones hacia un objetivo y que es apto para erosionar este objetivo, estando caracterizado este procedimiento porque incluye una etapa de grabado de un motivo de prueba sobre el objetivo, según un motivo de referencia predeterminado digitalizado, una etapa de formación de una imagen digitalizada del motivo de prueba grabado y una etapa de diferenciación entre esta imagen digitalizada del motivo de prueba grabado y la imagen digitalizada del motivo de referencia predeterminado, y porque se repiten estas etapas después de la modificación de al menos un parámetro de regulación del dispositivo, hasta la obtención de una regulación conveniente.