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发明名称 Lithographieapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE60137301(D1) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 DE20016037301 申请日期 2001.11.05
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BAL, MATTHIEU FREDERIC;BOCIORT, FLORIAN;BRAAT, JOSEPHUS JOHANNES MARIA
分类号 G02B17/00;G03F7/20;G02B13/14;G02B13/22;G02B17/06;H01L21/027 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
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