摘要 |
Bereitgestellt wird eine Halbleiterprüfvorrichtung, die in der Lage ist, Skew effizient und mit ausreichendem Betriebskomfort anzupassen. Die Halbleiterprüfvorrichtung prüft ein Halbleiterbauelement auf Basis eines Signals, das durch Anlegen eines Prüfsignals an das Halbleiterbauelement gewonnen wird, und enthält einen Treiber-Pin-Block. Der Treiber-Pin-Block ist ausgestattet mit: einer Vielzahl von Treibern, die das Prüfsignal erzeugen, wenigstens einem Anpassungskomparator, der mit den Ausgangsanschlüssen der Treiber verbunden ist und der zum Anpassen von Timings der Treiber verwendet wird, und einem Referenzsignal-Eingabeanschluss, in den ein Referenzsignal zum Anpassen eines Timings für den Anpassungskomparator eingespeist wird.
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