场效型电晶体及场效型电晶体的制造方法

摘要

本发明的目的是在于提供一种透明性或电气特性、安定性、均一性、再现性、耐热性、耐久性等佳，且降低电极间的重叠电容之场效型电晶体及其制造方法。场效型薄膜电晶体1001，系活性层为使用含有铟，电子载体浓度为10#sP!18#eP!/cm#sP!3#eP!未满的结晶质氧化物1021，且闸极电极1025、源极电极1022及汲极电极1023会自我整合，结晶质氧化物1021为含正二价元素或与铟相异的正三价元素之构成。