制品之湿式化学处理的装置与方法以及安装一流动元件至该装置的方法

摘要

为确保一均匀流涵盖一制品之该表面，本发明提供一装置用于对配置在该装置中的该制品进行湿式化学处理。此装置包含至少一流动构件其各别地包括至少一桨状流动元件，其中至少一流动构件系与该制品之该表面相对地配置并系可大体上平行于该制品之该表面移动。