| 摘要 |
提供投影曝光方法及曝光装置，该投影曝光方法，系使用包含驱动载台、位置讯号输出机构、基准标记检测机构、位置决定机构之投影曝光装置，以将图案像投影至曝光基板者；曝光基板具有供图案像投影的至少9个曝光区域；曝光基板具有供检测基板变形之至少9个检测区域；曝光基板基准标记，系表示至少9个曝光区域之基准位置，且表示至少9个检测区域的基准位置；且包含以下步骤：曝光基板位置控制步骤，在曝光基板被作为基板而装载于装载台后，藉由驱动载台，将装载台依序移动定位在至少4个既定的曝光基板检测位置；曝光基板位置储存步骤，根据该位置讯号取得在各曝光基板检测位置之装载台的位置且予以储存；基准标记位置算出步骤，系在各曝光基板检测位置，藉基准标记检测机构来检测曝光区域基准标记，然后根据其检测结果与装载台的位置，算出曝光基板基准标记的位置；全区域误差参数值算出步骤，系对于曝光基板整体，根据曝光基板基准标记的位置，使用最小平方法，算出以根据曝光基板基准标记的位移之误差为特征之全区域误差参数值；检测区域误差参数值算出步骤，系在各检测区域，根据至少2个曝光基板基准标记的位置，算出以根据曝光基板基准标记的位移之误差为特征之检测区域误差参数值；检测区域误差参数值线性成分算出步骤，系在各检测区域，根据检测区域误差参数值，使用最小平方法算出检测区域误差参数值的线性成分；差分线性成分算出步骤，系对于相邻的二个检测区域算出其检测区域误差参数值之至少1阶的差分，根据差分并使用最小平方法，算出差分线性成分；加权系数算出步骤，系在各检测区域，根据检测区域误差参数值、检测区域误差参数值的线性成分、以及根据差分线性成分之差分阶数的累积和，算出检测区域误差参数值的误差资讯，然后根据检测区域误差参数值的误差资讯算出加权系数，该加权系数用以表示，根据检测区域误差参数值的线性成分及差分线性成分的误差、与未根据其等的误差之大小比例；以及曝光基板位置决定步骤，根据曝光基板基准标记的位置、整体误差参数值、及加权系数，算出要将装载台定位之目标位置，然后将装载台定位在目标位置。 |
