| 摘要 |
本发明提供一种热处理装置，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部，包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，热处理室用于收容被热处理物，被热处理物可从热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部，并从气体导出部导出进行热处理后的气体，在气体通道中设置有：催化剂，分解在对被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的昇华物；加热器，至少加热催化剂；以及鼓风机。相对于热处理部的气体导入部及气体导出部，具有连接用凸缘及螺栓、螺母，用于可以拆卸地连接气体通道。 |
