薄膜天线的制作方法

摘要

一种利用电铸方式制作薄膜天线的制作方法，首先，准备衬底，在该衬底表面涂覆一层聚合物，再在该聚合物表面涂覆光阻层，然后进行光刻，未被光阻层遮挡的该聚合物在光线的照射下形成凹穴，将该聚合物表面涂覆的光阻层除去，即完成了一个镀件的制作；接着，将该镀件放入具有金属溶液的电铸槽中，并以该镀件为阴极，而阳极为金属片，该镀件与该金属片是平行的，在通入直流电源后，该金属溶液中的元素将沉积在该镀件的凹穴中；最后，将电铸完成的镀件从电铸槽中取出，清洗镀件，以除去该镀件上残留的金属溶液，再将沉积物与该镀件分离，该沉积物即形成薄膜式天线。

主权项

1.一种薄膜天线的制作方法，包括：(a)准备衬底；(b)在所述衬底的表面涂覆聚合物；(c)在所述聚合物上进行光刻，从而形成凹穴；(d)将经过上述步骤的衬底作为镀件放入具有金属溶液的电铸槽中；(e)从所述电铸槽中取出完成电铸的所述镀件；(f)、将通过电铸沉积在所述凹穴中的沉积物从所述镀件中分离，从而制成天线。