喷淋式扩散源输送装置

摘要

本实用新型涉及一种喷淋式扩散源输送装置，所述装置包括：石英扩散管和至少一根具有至少一个开孔的石英进气管，待扩散基片放置在石英扩散管内的石英舟内；所述石英进气管位于石英舟的上方、下方或上方和下方；石英进气管上开孔的位置与石英舟相对。利用本实用新型的装置可以减小石英扩散管内杂质源浓度分布的差异，避免基片对气流的运动产生阻挡。扩散后基片单片方块电阻均匀性与已有技术的进气方式相比，有了比较明显的提高，提升的幅度在5％左右。

主权项

1.一种喷淋式扩散源输送装置，其特征在于，所述装置包括：石英扩散管；和至少一根具有至少一个开孔的石英进气管，其中待扩散基片放置在石英扩散管内的石英舟内，所述石英进气管位于石英舟的上方、下方或上方和下方，且石英进气管上开孔的位置与石英舟相对。