免封装电磁驱动式微小型电场传感器

摘要

一种免封装电磁驱动式电场传感器，其中：绝缘支撑结构为一板状体，其上表面设置一屏蔽金属层；绝缘支撑结构间开设有一带台阶的孔，以嵌入安装电磁驱动元件；电磁驱动元件的振动膜上表面设置有一层感应金属层。在电磁驱动元件两端施加交流电压时，其交变的电流通过电磁驱动元件内部的线圈发生振动，驱动电磁驱动元件上的振动膜带动感应金属层一起振动；感应金属层在屏蔽金属层附近振动时，感应金属层上产生的感应电荷随着感应电荷周期性的变化，感应金属层输出一个正比于外电场的交变电流，通过外部测量电路检测出该电流的大小，实现外电场测量。相比传统的电场传感器，本发明具有体积小、功耗低、免封装、成本低的优点。

主权项

1、一种免封装电磁驱动式电场传感器，由电磁驱动元件、屏蔽金属层、感应金属层和绝缘支撑结构构成；其中：绝缘支撑结构为一板状体，其上表面设置一屏蔽金属层；绝缘支撑结构间开设有一带台阶的孔，以嵌入安装电磁驱动元件；电磁驱动元件的振动膜上表面设置有一层感应金属层；由上述结构，在电磁驱动元件两端施加交流电压时，其交变的电流通过电磁驱动元件内部的线圈，在磁体产生的磁场的作用下，线圈发生振动，驱动电磁驱动元件上的振动膜带动感应金属层一起振动；感应金属层在屏蔽金属层附近振动时，感应金属层上产生的感应电荷随着感应电荷周期性的变化，感应金属层输出一个正比于外电场的交变电流，通过外部测量电路检测出该电流的大小，实现外电场测量。