发明名称 | 蚀刻机台电极结构及其制作方法 | ||
摘要 | 一种蚀刻机台电极结构包含有一电极基板具有复数个气孔,以及复数个陶瓷通气环分别安装于气孔之中。电极基板之上,更可形成一表面处理层、一陶瓷层以及一金属钨层,以保护此电极基板。此外,一种蚀刻机台电极制作方法亦在此揭露。 | ||
申请公布号 | TW200905289 | 申请公布日期 | 2009.02.01 |
申请号 | TW096127352 | 申请日期 | 2007.07.26 |
申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 游庭权;江泓庆;洪国展 |
分类号 | G02F1/133(2006.01);H05H1/46(2006.01) | 主分类号 | G02F1/133(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 蔡坤财;李世章 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |