发明名称 Piezoelectric device and its manufacturing method
摘要
申请公布号 HK1069015(A1) 申请公布日期 2009.01.23
申请号 HK20050101468 申请日期 2005.02.22
申请人 PANASONIC CORPORATION 发明人 HIROYUKI KITA
分类号 H01L;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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