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发明名称 Vorrichtung zum Ausrichten und Bearbeiten eines Wafers
摘要
申请公布号 DE112007001002(A5) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 DE20071101002T 申请日期 2007.02.21
申请人 INNOLAS GMBH 发明人 BEHR, ANDREAS
分类号 H01L21/00;H01L21/68;H01L23/544 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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