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发明名称 Halbleitervorrichtungs-Simulationsverfahren und Halbleitervorrichtungs-Simulationsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE102004060854(B4) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 DE20041060854 申请日期 2004.12.17
申请人 SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY ACADEMIC RESEARCH CENTER, YOKOHAMA 发明人 MIURA, MITIKO;UENO, HIROAKI;HOSOKAWA, SATOSHI
分类号 H01L21/336;G01J5/00;G06F7/60;G06F17/10;G06F17/50;G06G7/62;H01L21/66;H01L23/58;H01L29/00;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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