发明名称 SCHALTUNG FÜR FOCUSED ION BEAM-SENSOR
摘要
申请公布号 DE50213099(D1) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 DE20025013099 申请日期 2002.02.15
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 TADDIKEN, HANS
分类号 G06K19/073;H01L23/58;G06F21/06;G06K19/07;G11C16/22 主分类号 G06K19/073
代理机构 代理人
主权项
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