| 发明名称 |
CMP COMPOSITION COMPRISING SURFACTANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1829093(B1) |
申请公布日期 |
2009.01.21 |
| 申请号 |
EP20050817425 |
申请日期 |
2005.10.21 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
SUN, TAO;MEDSKER, ROBERT |
| 分类号 |
H01L21/304;C09G1/02;C09K3/14 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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