氧化钇材料、半导体制造装置用构件及氧化钇材料之制造方法

摘要

提供一种机械特性优良的氧化钇材料。本发明者们发现藉由在氧化钇中添加碳化矽以及氟化钇而能够使氧化钇材料强韧化，在应用于半导体制造装置构件时的良率、操作性以及可靠性能够提升。