经由蒸气沉积来形成连续性铜薄膜的方法

摘要

本发明描述了一种用于制备多层的基材的方法。在一个实例中，该方法提供了包含第一层和第二层的多层基材，其中该方法包含步骤：提供包含阻绝区域和铜区域的第一层；和沉积含铜的第二层至第一层上，其中该沉积提供了包含在阻绝区域上的约20埃到约2,000埃的第一厚度和在第一层中的铜区域上的约0埃到约1,000埃的第二厚度的第二层，其中第一厚度大于第二厚度。