用于微机电系统共振器之方法与装置

摘要

一种共振器包括具有第一电极和第二电极的CMOS基板。该CMOS基板被配置为向第一电极提供一个或多个控制信号。该共振器还包括共振器结构，该共振器结构包括矽材料层。该共振器结构被耦合至CMOS基板并被配置为响应于所述一个或多个控制信号而发生谐振。