氧化锌系基板及氧化锌系基板之处理方法

摘要

系提供一种具有适合于结晶成长的表面之氧化锌系基板及氧化锌系基板之处理方法。系以使Mg#sB!X#eB!Zn#sB!1-X#eB!O基板(0≦X＜1)之进行结晶成长之一侧的表面之羟基(OH基)的存在大致为0之方式地形成。作为可实现此基板之基板处理方法，Mg#sB!X#eB!Zn#sB!1-X#eB!O基板(0≦X＜1)之进行结晶成长之一侧的表面之最终处理，系以pH3以下之酸性湿式蚀刻处理来进行。藉此，可防止锌(Zn)之羟化物的产生，而将氧化锌系基板上之薄膜的结晶缺陷密度降低至非常小。