新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜

摘要

本实用新型涉及一种新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，包括内筒(12)、外筒(13)、法兰III(10)、法兰II(8)、法兰I(7)、内层玻璃(6)、外层玻璃(5)、冷却水进口I(2)、冷却水进口II(1)、冷却水出口II(9)和冷却水出口I(11)，所述内筒(12)插置在法兰III(10)内孔内，外筒(13)设置在法兰III(10)内端，法兰II(8)和法兰I(7)依次叠层布置在法兰III(10)外侧，内层玻璃(6)设置在法兰III(10)与法兰II(8)之间，外层玻璃(5)设置在法兰II(8)与法兰I(7)之间，内层玻璃(6)、外层玻璃(5)和法兰II(8)之间围成一封闭容腔，法兰II(8)上设置有冷却水进口II(2)和冷却水出口II(9)，外筒(12)上设置有冷却水进口I(1)和冷却水出口I(11)。冷却水对外层玻璃、内层玻璃、内筒、外筒进行冷却。本实用新型冷却效果好。

主权项

1、一种新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，其特征在于所述视镜包括内筒(12)、外筒(13)、法兰III(10)、法兰II(8)、法兰I(7)、内层玻璃(6)、外层玻璃(5)、冷却水进口I(2)、冷却水进口II(1)、冷却水出口II(9)和冷却水出口I(11)，所述内筒(12)与外筒(13)同轴设置，内筒(12)插置在法兰III(10)内孔内，外筒(13)设置在法兰III(10)内端，法兰II(8)和法兰I(7)依次叠层布置在法兰III(10)外侧，内层玻璃(6)设置在法兰III(10)与法兰II(8)之间，外层玻璃(5)设置在法兰II(8)与法兰I(7)之间，内层玻璃(6)、外层玻璃(5)和法兰II(8)之间围成一封闭容腔，法兰II(8)上设置有冷却水进口II(2)和冷却水出口II(9)，外筒(12)上设置有冷却水进口I(1)和冷却水出口I(11)。