| 发明名称 | 等离子加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种等离子加工设备，其防止了空气在一观察口中产生旋涡，所述观察口用于对处于真空状态的加工室的内部进行观察。所述设备包括：多个孔，其形成在加工室的相对壁上平行于加工室内的基片的位置处，使得通过所述孔对加工室内部的基片进行观察；一个位于每个孔的外壁上的观察口；以及一个盖板，其位于加工室的内壁上，同时位于与相关的观察口隔开的每个孔的内壁上。所述盖板具有多个贯通的、彼此以预定间隔隔开的开口。 | ||
| 申请公布号 | CN100452290C | 申请公布日期 | 2009.01.14 |
| 申请号 | CN200610003344.3 | 申请日期 | 2006.02.05 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;孙亨圭 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/67(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23C14/56(2006.01);C23F1/12(2006.01);C23F4/00(2006.01);H05H1/00(2006.01);H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;李丙林 |
| 主权项 | 1.一种等离子加工设备，其包括一个进行等离子加工的室以及至少一个用于观察所述室的内部的观察口，其中，所述观察口包括：一个穿过所述室的孔；以及一个监控窗口，其位于所述室的外部和该孔的前面，并且可以移动以确保观察角度。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||