用于三层图案化应用之组合物、涂料及薄膜、及其制备方法

摘要

本文描述用于三层应用之组合物，其中该组合物具有基质且包括：包含至少一种类型之用以形成聚合物基质的以矽为主之部分、复数个与聚合物基质偶合之乙烯基及复数个与聚合物基质偶合之苯基的经调配聚合物，至少一种缩合催化剂及至少一种溶剂。本文亦涵盖三层结构，其包含有机下层(第一层)、本文所涵盖之抗反射组合物及/或薄膜(第二层)及光阻材料(第三层)，该等层系彼此偶合。制造用于三层图案化应用之组合物的方法包括：提供包含至少一种类型之用以形成聚合物基质的以矽为主之部分、复数个与聚合物基质偶合之乙烯基及复数个与聚合物基质偶合之苯基的经调配聚合物，提供至少一种缩合催化剂，提供至少一种溶剂，提供至少一种pH值改质剂，将该经调配聚合物与该至少一种溶剂之部分在反应容器中掺合以形成反应混合物；且将该至少一种pH值改质剂、该至少一种缩合催化剂及剩余之该至少一种溶剂并入该反应混合物中以形成组合物。