发光器件的制造方法

摘要

发光器件及其制造方法具有的优点在于：除去在多个发光结构之间形成的蚀刻膜，以互相分离发光结构的各个侧面，并且除去衬底以彼此分离器件的下部，由此更易于器件的分割。更进一步的优点在于不进行划片工艺而分开器件，从而可以减少例如裂缝或弯曲等缺陷的出现，并且不用为划片工艺保留器件之间的间隔，由此增加了器件的集成度。

主权项

1.一种发光器件的制造方法，包括：在衬底上形成多个发光结构，使得这些结构互相间隔开；在相邻的发光结构之间形成由选择性可蚀刻材料制成的蚀刻膜；形成覆盖多个发光结构和蚀刻膜的金属膜；将衬底与被金属膜覆盖的多个发光结构和蚀刻膜分开；除去蚀刻膜；以及逐个分开被金属膜覆盖的多个发光结构，其中在蚀刻膜的顶部上至多在部分区域形成金属膜，从而在蚀刻膜的顶部上形成空白空间，使得金属膜被分成多块，每块包含至少一个发光结构。