发明名称 |
微机电感应开关 |
摘要 |
介绍了一种能够感应耦合和解耦电信号的微机电(MEM)开关。感应MEM开关由在可移动平台(15)上的第一组线圈(20、30)和在固定平台或基板上的第二组线圈(40、50)构成,在可移动平台上的线圈在固定基板中的线圈的上面或下面。通过相对于在固定基板上的线圈旋转或横向移动可移动平台的线圈实现耦合和解耦。分别在可移动和固定基板上的各种不同的排列或线圈允许多极和多掷开关结构。所述MEM开关消除了开关触点的静摩擦、拉弧和熔接问题。可以使用标准CMOS技术制造本发明的MEMS开关。 |
申请公布号 |
CN100447915C |
申请公布日期 |
2008.12.31 |
申请号 |
CN200380109984.7 |
申请日期 |
2003.10.28 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
理查德·P.·沃朗特;约翰·E.·弗洛克;罗伯特·A.·格洛维斯 |
分类号 |
H01F21/04(2006.01) |
主分类号 |
H01F21/04(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李春晖 |
主权项 |
1.一种半导体微机电开关,包括:至少一个可移动电感;以及在固定基板上的至少一个电感,其中所述至少一个可移动电感相对于所述至少一个固定电感的相对运动使所述至少一个可移动电感与所述至少一个固定电感电耦合和解耦。 |
地址 |
美国纽约 |