| 摘要 |
Изобретение относится к загрузочному устройству для реактора послойного атомного осаждения, причем реактор послойного атомного осаждения содержит вакуумную камеру (2), которая имеет первую торцевую стенку (6) и вторую торцевую стенку (20) с задним фланцем, а также боковую стенку/корпус (22), соединяющие первую и вторую боковые стенки, причем реакционная камера (4) предусмотрена внутри вакуумной камеры (2). Согласно изобретению предусмотрено загрузочное устройство в боковой стенке/корпусе (22) вакуумной камеры (2), так что одна или несколько подложек (10) могут быть введены в реакционную камеру (4) и удалены из нее через боковую стенку (22) вакуумной камеры (2). |
