发明名称 Verfahren zur Ausbildung eines Kontaktes
摘要
申请公布号 DE10239843(B4) 申请公布日期 2008.12.18
申请号 DE20021039843 申请日期 2002.08.29
申请人 PROMOS TECHNOLOGIES INC. 发明人 CHEN, CHUN-CHE;YEH, FANG-YU;LIN, HAN-CHIH;CHEN, CHIN-SHEN
分类号 H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/552 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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