| 摘要 |
<p>Eine Ventileinrichtung (2.1 ) einer Auftragungseinrichtung zum Auftragen von Fluid auf ein Substrat umfasst einen Ventilkörper (15.1), ein Ventilgehäuse (4.1 ) mit Innenraum (8.1) und Ventilsitz (41.1), eine Zufuhr-Fluidkammer (1 1.1), eine elektromagnetische Ventilbetätigungseinrichtung (5.1) mit Ventilkolben (51.1 ) und einen Justierkolben (61.1). Die Ventildüse (3.1 ) ist an der Düsenseite (12.1) der Ventileinrichtung (2.1) lösbar befestigt. Die Ventileinrichtung (2.1 ) weist eine den Ventilkörper (15.1 ) an der Düsenseite nach unten abschließende Düsenplatte (121.1) mit Montageöffnung (13.1 ) für den Ventilkolben (51.1) auf. Das Ventilgehäuse (4.1) ist in Form einer Düsenblende gestaltet, die ein an der Montageöffnung (13.1) von unten ansetzbares und abnehmbares Verschlussteil (14.1 ) ist. Die Ventildüse (3.1) ist Bestandteil des Ventilgehäuses (4.1). Der Ventilkolben (51.1 ) wird bei abgenommenem Verschlussteil (14.1) durch die Montageöffnung (13.1) der Düsenplatte (121.1) zur Entnahme und Montage freigegeben. Die Ventileinrichtung (2.1) ist mit wenigstens einem gerade verlaufenden Fluidkanal (7.1 ) versehen, der die Zufuhr-Fluidkammer (1 1.1) mit dem Ventilsitz (41.1) verbindet. Der Ventilkolben (51.1) und ein Teil des Justierkolbens (61.1) bilden gemeinsam eine Wandung (71.1) des geraden Fluidkanals (7.1), der bei abgenommenem Düsenblenden- Verschlussteil (14.1) zum Reinigen durch die Montageöffnung ( 13.1 ) freigegeben wird. Eine Auftragungseinrichtung (1) umfasste eine Reihenanordnung der Ventileinrichtungen (21).</p> |
