一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法

摘要

本发明是一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法。它是钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，包括若干组弯曲小钨棒，通过长钨带将所有小钨棒相互连接在一起形成一串联电路，同一组间由若干根钨棒等间距排列组成，并且相同组会对称性分布在围成的圆筐上，不同组间钨棒设置有高低层次，异面相互交错分布。为克服现有技术中温度场不均匀，加热效率低，不宜控制加热速度和温度场精度，难以满足大尺寸晶体生长系统要求等相关问题，本发明设计了一种独特的钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，电流在不同区域通过不同长度的电阻丝，有利于获得上低下高、低两侧高型的温场分布，并且能够很好保证生长过程中的小温度梯度要求。

主权项

1、一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置，其特征在于它是钨制密集排布圆筐鸟笼式加热结构，包括若干组弯曲小钨棒，通过长钨带将所有小钨棒相互连接在一起形成一串联电路，同一组间由若干根钨棒等间距排列组成，并且相同组会对称性分布在围成的圆筐上，不同组间钨棒设置有高低层次，异面相互交错分布。