| 发明名称 |
RECIPROCAL MECHANISM FOR INTRA-VACUUM CHAMBER BODY OF REVOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS56145642(A) |
申请公布日期 |
1981.11.12 |
| 申请号 |
JP19800046900 |
申请日期 |
1980.04.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBATA ATSUSHI;KOIKE TAKESHI |
| 分类号 |
H01J37/20;C23C14/48;C23C14/50;F16J15/16;F16J15/32;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/687 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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