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发明名称
DICING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号
JPS61290008(A)
申请公布日期
1986.12.20
申请号
JP19850131802
申请日期
1985.06.19
申请人
HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD
发明人
TODA NAOKI
分类号
B28D5/00;H01L21/301;H01L21/78
主分类号
B28D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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