MAGNETRON SPUTTERING DEVICE,申请号JP19850139342-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS621865(A)	申请公布日期	1987.01.07
申请号	JP19850139342	申请日期	1985.06.25
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	YOKOYAMA MASAHIDE;IKEDA TANEJIRO
分类号	C23C14/36;C23C14/35	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
主权项
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