发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6446968(A) |
申请公布日期 |
1989.02.21 |
申请号 |
JP19870203185 |
申请日期 |
1987.08.17 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SEKI SHUNJI;KOGURE OSAMU |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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