发明名称 ELECTRON BEAM PATTERN GENERATOR CONTROL
摘要
申请公布号 EP0245907(A3) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 EP19870200847 申请日期 1987.05.11
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 SWETMAN, JOHN PERCY
分类号 H01L21/027;H01J37/302;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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