发明名称 用以将碳素膜淀积于塑胶物件上之微波激发CVD方法,以及藉此方法获得之产物
摘要 本发明为用以将碳素膜淀积于塑胶件上之微波激发 CVD方法,藉以方法获得之产物可广泛用于齿轮,装饰品,拷贝机部份构件,将可达到抗蚀,____及延长产品毒命之目的。
申请公布号 TW151181 申请公布日期 1991.02.01
申请号 TW077100585 申请日期 1988.01.29
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 发明人 山崎舜平
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
地址 日本