发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 CH444828(A) 申请公布日期 1967.10.15
申请号 CH19640006975 申请日期 1964.05.28
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HEYWANG,WALTER,DR.
分类号 H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):H01L7/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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