发明名称 PRODUCTION SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05166691(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910335392 申请日期 1991.12.19
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 SONOBE HIRONORI;YOSHIDA YASUHISA;MATSUZAWA HIROSHI;CHIBA ERIKO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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