VAPOR GROWTH DEVICE,申请号JP19920083716-传众专利搜索

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发明名称	VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05283347(A)	申请公布日期	1993.10.29
申请号	JP19920083716	申请日期	1992.04.06
申请人		发明人
分类号	C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C30B25/02
代理机构		代理人
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