| 发明名称 |
PROCESSO PARA A ALIMPEZA QUIMICA E COM PLASMA DE SUBSTRATOS METALICOS PARA POSTERIOR REVESTIMENTO POR DISPOSICAO FISICA DE VAPOR (PVD) OU DIPOSICAO QUIMICA DE VAPOR REFORCADA COM PLASMA (PECVD) |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
PT99399(A) |
申请公布日期 |
1993.11.30 |
| 申请号 |
PT19910099399 |
申请日期 |
1991.10.31 |
| 申请人 |
THYSSEN EDELSTAHLWERKE AG |
发明人 |
MICHAEL FOLLER;CARL-STEFAN THONE |
| 分类号 |
C23C14/02;C23C16/02;C23G5/00;(IPC1-7):C23C14/02 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
