复合片、复合片之加工方法、以及雷射加工装置

摘要

本发明之课题在于简化处理步骤,并降低制品单价。解决方法为设置:以频率f输出脉冲状雷射之雷射振荡器8;用以使雷射之外形整形为三角形、四角形及六角形中任一形状的遮罩13;使雷射依时间分歧成频率为f/N之N个雷射的N个时间分歧机构10;用以将依时间分歧之该雷射定位的N对定位机构29、30;用以使雷射聚光之1个聚光镜32;用以移动工件(work)之旋转桶18;以及控制时间分歧机构10、N对之定位机构29,30及台座19之移动装置的控制机构。于使该N对之定位机构29、30完成使该雷射可照射至既定之位置的定位步骤后,使台座19移动,并在此状态下,以既定之顺序驱动该时间分歧机构10,将复合片A加工为以该遮罩13设定外形之孔各边与相邻孔之间的距离彼此相等。